反滲透水處理工藝在純水、超純水制備工程中的應用，不但增加了產水品質，減少生產成本，而且減少了環境污染，也使得純水、超純水制造技術的發展。  

反滲透水處理的工藝流程：  

原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器/石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水處理裝置/添加阻垢劑裝置→精密過濾器→高壓泵→一級反滲透/RO裝置→紫外線殺菌裝置/臭氧殺菌裝置→用水點  

1、原水箱  
原水罐用于儲存原水，減小因為原水管中水壓不穩定對反滲透水處理系統造成的沖擊（如水壓過低或過高引起的壓力傳感的反應），同時用于沉淀地下水中的大泥沙顆粒及其它可沉淀物質。  
2、原水泵  
恒定系統供水壓力，穩定供水量。  
3、多介質過濾器  
采用多次過濾層的過濾器，除去原水中顆粒在20um以上的雜質（如泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等），可選用手動閥門控制或者全自動控制器進行正、反沖洗等一系列操作，確認反滲透水處理設備產水質量，增加使用壽命。  
4、活性炭過濾器  
活性炭過濾器運行費用低，可吸附電解質離子，還可進行離子交換吸附。由于吸附作用使表面被吸附復制的濃度增加，因而起到催化作用、除去水中的異味、色素、生化有機物、三鹵化物以及其它的污染物的作用，減少水的余氯值及農藥污染物。  
5、軟水處理裝置/添加阻垢劑裝置  
RO裝置為了溶解固體形物的濃縮排放和淡水的利用，為制止膜特性受損，在進入反滲透膜組件之前，應使用軟水處理裝置，或投放適量的阻垢劑阻止碳酸鹽、SiO2、硫酸鹽的晶體析出，制止反滲透水處理設備的結垢污染。  
6、精密過濾器  
反滲透膜的厚度約為10微米左右，原水中較大的顆粒經高壓泵加速后，易劃傷反滲透膜表面的脫鹽表皮層或擊穿反滲透膜組件。安裝精密過濾器作用，是截留原水中的大于5微米的顆粒（如懸浮物、非曲直粒物及膠體等物質），減少反滲透膜被大顆粒劃傷，確認反滲透水處理設備穩定的運行。  
7、反滲透/RO裝置  
反滲透裝置是用壓力，使水通過反滲透膜分離出來，適應多類含鹽量的原水，應用行業多，獲得了較好的技術經濟效益。反滲透水處理設備脫鹽率高，回收率高，運行穩定，在除鹽的同時，也將大部分大分子量、細菌及膠體的有機物除去。  
8、臭氧殺菌器/紫外線殺菌器（可選）  

殺滅由二次污染產生的確認成品水的衛生指標。

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